欢迎光临江苏金湖宝盛仪表有限公司网站!
诚信促进发展,实力铸就品牌
服务热线:

18052398519

产品分类

Product category

技术文章 / article 您的位置:网站首页 > 技术文章 > 气体质量涡轮流量计其典型应用有哪些?

气体质量涡轮流量计其典型应用有哪些?

发布时间: 2022-03-18  点击次数: 771次
  气体质量涡轮流量计采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度和压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大,放大后的流量测量电压与设定电压进行比较,再将差值信号放大后去控制调节阀,通过闭环控制来控制通过的流量,并使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。
  气体质量涡轮流量计主要由涡轮、导流器、壳体和磁电传感器等组成,涡轮的转轴的轴承由固定在壳体上的导流器所支撑。壳体由不导磁的不锈钢制成,涡轮为导磁的不锈钢,它通常有4~8片螺旋形叶片。当流体通过流量计时,推动涡轮使其以一定的转速旋转,此转速是流体流量的函数。而装在壳体外的非接触式磁电转速传感器输出脉冲信号的频率与涡轮的转速成正比。因此,测定传感器的输出频率即可确定流体的流量。为了减小流体作用在涡轮上的轴向推力,采用反推力方法对轴向推力进行自动补偿。
  气体质量涡轮流量计可广泛地应用于石油化工、半导体和集成电路、特种材料学科、医药、环保和真空等多种领域的科学研究和生产中,其典型应用有:电子工艺设备,如氧化、CVD、扩散、外延、等离子蚀刻、离子注入和溅射,以及微反应装置、配气和混气系统、镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪以及其它分析仪器。应用对象:质量流量控制器应用系统集成商、特殊气体厂商、真空元件供应商、真空系统集成商、特殊气体厂商、真空元件供应商、真空系统集成商、电池系统集成商、生化系统集成商、气体装配流水线集成商、大学实验室、气体公司等。

联系我们

contact us

咨询电话

0517-86982408

扫一扫,关注我们

返回顶部